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ZEISS ΣIGMA熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

型號：ΣIGMA

產(chǎn)品價(jià)格：電議采購度：758 發(fā)布時(shí)間：2020/5/11 8:56:51

儀器產(chǎn)地：所屬地區：

簡(jiǎn)要描述： ZEISS ΣIGMA 電鏡為肖特基（Schottky）熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。目前歐美地區比較推崇熱場(chǎng)發(fā)射電鏡，而日本較熱衷于冷場(chǎng)發(fā)射電鏡。該場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡主要有如下特點(diǎn)：

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標簽：ZEISS ΣIGMA熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

產(chǎn)品詳情

ZEISS ΣIGMA 電鏡為肖特基（Schottky）熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。目前歐美地區比較推崇熱場(chǎng)發(fā)射電鏡，而日本較熱衷于冷場(chǎng)發(fā)射電鏡。
該場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡主要有如下特點(diǎn)：
1.探針電流較大，可達20nA（100nA可選），可容易進(jìn)行BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。而一般冷場(chǎng)發(fā)射探針電流達不到這個(gè)數量級，有些分析工作（如WDS、EBSD、CL等）在冷場(chǎng)電鏡上難以進(jìn)行。
2.平行束的電子光學(xué)系統：
ΣIGMA 系列熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡鏡筒系統電子光學(xué)設計新穎獨特，稱(chēng)為GEMINI鏡筒。在光源與樣品之間，入射電子束不形成交叉點(diǎn)，這與其它掃描電鏡明顯不同。入射電子束無(wú)交叉點(diǎn)光學(xué)設計的作用在于：⑴降低入射電子束之間的庫侖統計相互作用（減少電子碰撞，降低色差）；⑵降低外部環(huán)境雜散磁場(chǎng)對入射電子束的影響。因此，GEMINI鏡筒設計確保了入射電子束的亮度及圖像分辨率。特別在低入射能量應用時(shí)，上述作用尤為重要。
3.可擴展性：標配所有的接口，可以兼容市場(chǎng)上所有的電鏡相關(guān)附件，如：能譜儀、波譜儀、EBSD、CL、冷凍臺、拉伸臺、等離子清洗裝置等，后續升級沒(méi)有任何障礙。
4.電子束噪聲較小，<1%。
5.束流穩定度高，優(yōu)于0.2%/h，適宜于長(cháng)時(shí)間的各種精確分析。
上述兩項指標其它廠(chǎng)家均未給出。在理論上冷場(chǎng)發(fā)射要比熱場(chǎng)發(fā)射要差一個(gè)數量級。
6.所需的工作真空度（包括電子槍真空度和樣品室真空度）較低，對環(huán)境、樣品要求不高。而冷場(chǎng)發(fā)射電鏡的真空度比熱場(chǎng)要高2個(gè)數量級，真空系統復雜，如樣品不清潔、有揮發(fā)、放氣等情況，抽真空較困難。
7.采用動(dòng)態(tài)/靜態(tài)磁透鏡（雙子星座），沒(méi)有雜散磁場(chǎng)，可對鐵磁體樣品進(jìn)行高分辨率成像。（蔡司是行內可以承諾做磁性材料的電鏡品牌）
8.超大樣品室：樣品室尺寸達到365mm（內直徑）×275mm（內高度），五軸馬達驅動(dòng)全優(yōu)中心樣品臺，行內的五軸樣品臺移動(dòng)范圍：X = 125mm，Y = 125mm，Z = 50mm，T = 0 to 90°，R = 360° ，為使用提供了極大的方便。
9.抽屜式樣品室拉門(mén)，方便樣品更換及大樣品、形狀復雜樣品的觀(guān)察，樣品直徑可達250mm以上，樣品高度約為145mm。而冷場(chǎng)掃描電鏡由于要求的真空度較高，不宜破壞樣品室真空，一般用“樣品交換氣鎖”來(lái)更換樣品，操作麻煩，且進(jìn)出樣品的尺寸、形狀受限，一般樣品直徑不超過(guò)100mm，樣品高度約為26mm。
10.采用全自動(dòng)控制無(wú)油式真空系統，采用機械泵＋磁懸浮分子渦輪泵＋離子泵，無(wú)油污染。
11.獨特的環(huán)形In-lens二次電子探測器，探測效率高、圓周對稱(chēng)。而其他廠(chǎng)家的In-lens探測器安裝在一側，且結構復雜。
12.維護簡(jiǎn)便，且工作穩定。冷場(chǎng)電鏡每8個(gè)小時(shí)都需要Flash(陰極還原)，且發(fā)射電流不穩定，使用維護麻煩。而熱場(chǎng)電鏡無(wú)此麻煩。
13.末級光欄采用多孔光欄結構，用電磁方式進(jìn)行更換和對中調整，操作方便。鏡筒上無(wú)需用戶(hù)調整的部件。
14.高景深：物鏡光欄放在燈絲下，景深行內。
15.多功能控制面板：方便進(jìn)行聚焦、消像散、電位移、放大倍率調整等。
16.可選配光電一體化模塊，實(shí)現與光學(xué)顯微鏡連用：實(shí)現低倍定位，拍照等功能。